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		Derechos	Preview	Fecha Public.	Título	Autor(es)	Tipo
	1	openAccess		16-nov-1995	Composiciones en solución para el ataque de obleas de silicio y método para el ataque con tales composiciones	Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Brausells Roige, Joan; Bao, Min-Hang	patente
	2	closedAccess		21-oct-1996	Design of a modular micropump based on anodic bonding	Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josep	póster de congreso
	3	closedAccess		1996	Etch-stop behavior of buried layers formed by substoichiometric nitrogen ion implantation into silicon	Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; El‐Hassani, A.	artículo
	4	closedAccess		15-may-1997	The realization of an integrated Mach-Zehnder waveguide immunosensor in silicon technology	Schipper, E. F.; Brugman, A. M.; Domínguez Horna, Carlos CSIC ORCID; Lechuga, Laura M. CSIC ORCID ; Kooyman, R. P. H.; Greve, J.	artículo
	5	closedAccess		26-sep-1993	Anisotropic etch-stop properties of nitrogen implanted silicon	Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID	póster de congreso
	6	openAccess		11-mar-1997	Tecnologías fotónicas y comunicaciones ópticas	Rebolledo, M. A.; Bernabeu, E.; Álvarez, J. M.; López-Higuera, J. M.; Andrés, M.; Escribano, F.; Domínguez, Carlos; López-Amo, M.; Pelayo, J.; Capmany, J.; Warzanskyj, W.	artículo
	7	closedAccess		jun-1997	Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop properties	Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhard	artículo
	8	closedAccess		16-jun-1998	beta-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications	Serre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Fonseca, Luis; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID	comunicación de congreso
	9	openAccess		1-ene-1999	Hot-hole-induced interface states build-up on deep-submicrometer LDD nMOSFETs	Rafí, J. M. CSIC ORCID ; Campabadal, Francesca CSIC ORCID	artículo
	10	openAccess		1-abr-1996	Estructura de test para la medida del desalineamiento entre niveles en tecnologías microelectrónicas, basada en transistores MOS con puerta triangular	Lozano Fantoba, Manuel CSIC ORCID ; Cané Ballart, Carles; Perelló García, Carles; Lora-Tamayo D’Ocón, Emilio	patente