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Derechos | Preview | Fecha Public. | Título | Autor(es) | Tipo |
closedAccess | | 12-dic-2001 | Ion beam synthesis of n-type doped SiC layers | Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 5-jun-2001 | Ion Beam synthesis of n-type doped SiC layers | Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | comunicación de congreso |
closedAccess | | 2000 | Ion beam synthesis of polycrystalline SiC on SiO2 structures for MEMS applications | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang | artículo |
closedAccess | | 25-mar-2001 | Ion Beam Synthesis of SiC on Insulator Structures | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Dieter, P.; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang | comunicación de congreso |
openAccess | | 4-oct-2001 | Method for the production of silicon carbide (SIC) layers by means of ionic implantion of carbon and anneals. | Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | patente |
closedAccess | | 20-feb-1997 | Síntesis de microestructuras de SiC en substrato de Si mediante implantación iónica | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | póster de congreso |
closedAccess | | ene-2001 | Structural and electrical characterization of ion beam synthesized and n-doped SiC layers | Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 16-oct-2000 | Structural Characterization of Ion Beam Synthesysed Polycristalline SiC on SiO2 | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | comunicación de congreso |
closedAccess | | jun-1997 | Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop properties | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhard | artículo |
closedAccess | | 1995 | Synthesis of thin membranes in Si Technology by carbon ion implantation | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Calvo Barrío, L.; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhard | comunicación de congreso |
closedAccess | | 1999 | Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical properties | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 20-abr-1999 | β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications | Serre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Fonseca, Luis; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang | artículo |