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61closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg20-abr-1999β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applicationsSerre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Fonseca, Luis; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgangartículo
62closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg12-dic-2001Ion beam synthesis of n-type doped SiC layersSerre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID artículo
63closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg16-jun-1998beta-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applicationsSerre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Fonseca, Luis; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID comunicación de congreso
64closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg20-feb-1997Síntesis de microestructuras de SiC en substrato de Si mediante implantación iónicaSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID póster de congreso
65closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg5-jun-2001Ion Beam synthesis of n-type doped SiC layersSerre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID comunicación de congreso
66closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgjun-1997Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop propertiesSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhardartículo
67closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1995Synthesis of thin membranes in Si Technology by carbon ion implantationSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Calvo Barrío, L.; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhardcomunicación de congreso
68closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgmay-2000Epitaxial growth of β-SiC on ion-beam synthesized β-SiC: Structural characterizationRomano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID artículo
69closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1993Analysis of buried etch-stop layers in silicon by nitrogen-ion implantationAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Garrido, Blas; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCIDartículo
70closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgdic-1994Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted siliconAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCIDartículo

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