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1closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg21-oct-1996Design of a modular micropump based on anodic bondingAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Joseppóster de congreso
2closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgjun-1997Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop propertiesSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhardartículo
3openAccessplanas_boletines_adquisiciones.pdf.jpgfeb-1998Boletines de adquisiciones en webPlanas, Maríaartículo
4closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1995Synthesis of thin membranes in Si Technology by carbon ion implantationSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Calvo Barrío, L.; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhardcomunicación de congreso
5closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1995Electrochemical etch-stop characteristics of TMAH:IPA solutionsAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Burrer, Chr.; Götz, Andreasartículo
6closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1999Tubular micro cell with integrated BESOI BSC-ISFETAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Baldi Coll, Antonio CSIC ORCID CVN ; Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaumepóster de congreso
7closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1999Micromachined optical fiber current sensorHeredero, R. L.; Fernández de Caleya, R.; Guerrero, H.; Santos, P.; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaumeartículo
8closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1993Analysis of buried etch-stop layers in silicon by nitrogen-ion implantationAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Garrido, Blas; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCIDartículo
9closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg13-sep-1998Non standard behaviour of TMAH anisotropic wet etchingDuch, M.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID comunicación de congreso
10closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgdic-1994Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted siliconAcero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCIDartículo

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