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http://hdl.handle.net/10261/258235COMPARTIR / EXPORTAR:
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| Título: | Non standard behaviour of TMAH anisotropic wet etching |
Autor: | Duch, M.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID | Fecha de publicación: | 13-sep-1998 | Citación: | Eurosensors XII (1998) | Descripción: | Trabajo presentado en Eurosensors XII: 12th European Conference on Solid-State Transducers and the 9th UK Conference on Sensors and Their Applications, celebrado en Southampton (Reino Unido), del 13 al 16 de septiembre de 1998 | URI: | http://hdl.handle.net/10261/258235 |
| Aparece en las colecciones: | (IMB-CNM) Comunicaciones congresos |
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