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Navegación por Autor Beldarrain, O.
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Derechos | Preview | Fecha Public. | Título | Autor(es) | Tipo |
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openAccess | 19-sep-2011 | Ultra-thin ALD layers of HfO2 for silicon micromachining | Duch, M.; Gerbolés, Marta; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Beldarrain, O.; Zabala, Miguel; Campabadal, Francesca CSIC ORCID | póster de congreso |