English
español
Navegación por Autor Zabala, Miguel
Mostrando resultados 21 a 21 de 21
< Anterior
Derechos | Preview | Fecha Public. | Título | Autor(es) | Tipo |
---|---|---|---|---|---|
openAccess | 19-sep-2011 | Ultra-thin ALD layers of HfO2 for silicon micromachining | Duch, M.; Gerbolés, Marta; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Beldarrain, O.; Zabala, Miguel; Campabadal, Francesca CSIC ORCID | póster de congreso |