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1closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1-feb-2004Multi-range silicon micromachined flow sensorSabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Santander, Joaquin; Fonseca, Luis; Gràcia, Isabel; Cané, Carlesartículo
2closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg20-oct-2009Influence of current collectors design on the performance of a silicon-based passive micro direct methanol fuel cellEsquivel Bojórquez, Juan Pablo CSIC ORCID ; Sabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Santander, Joaquin; Torres-Herrero, Nuria; Gràcia, Isabel; Ivanov, Peter; Fonseca, Luis; Cané, Carlesartículo
3closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg26-abr-2006Micromachined twin gas sensor for CO and O <inf>2</inf> quantification based on catalytically modified nano-SnO <inf>2</inf>Belmonte, J. Cerdà; Manzano, Julián; Arbiol, Jordi CSIC ORCID CVN; Cirera, Albert; Puigcorbé, J.; Vilà, Anna M.; Sabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Gràcia, Isabel; Cané, Carles; Morante, Juan Ramonartículo
4openAccess28-oct-2006Digital image correlation of nanoscale deformation fields for local stress measurement in thin filmsSabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Vogel, Dietmar; Gollhardt, Astrid; Marco, J.F. CSIC ORCID CVN ; Gràcia, Isabel; Cané, Carles; Michel, Berndartículo
5openAccess071910_1_online.pdf.jpg24-feb-2006Measurement of residual stresses in micromachined structures in a microregionSabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Vogel, Dietmar; Gollhardt, Astrid; Keller, Juergen; Michel, Bernd; Cané, Carles; Gràcia, Isabel; Morante, Juan Romanartículo
6closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg28-may-2008Sub-ppm gas sensor detection via spiral μ-preconcentratorGràcia, Isabel; Ivanov, Peter Tsolov; Blanco, Fernando CSIC; Sabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Vilanova, Xavier; Correig, Xavier; Fonseca, Luis; Figueras, Eduard; Santander, Joaquin; Cané, Carlesartículo
7openAccess554833.pdf.jpg1-abr-2007Residual stress measurement on a MEMS structure with high-spatial resolutionSabaté Vizcarra, María Neus CSIC ORCID ; Vogel, Dietmar; Gollhardt, Astrid; Keller, Jürgen; Cané, Carles; Gràcia, Isabel; Morante, Joan R.; Michel, Berndartículo

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