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| Título: | In-situ monitoring of the Atomic Force Microscopy (AFM) tip by analysing the cantilever’s higher harmonic vibrations |
Autor: | Rull, Enrique; Staufer, Urs | Fecha de publicación: | 2015 | Citación: | MNC 2015 | Resumen: | Automated in-line Metrology for Nanoscale Production: Aim4np Project. New metrological processes in industry; a challenge in industry. | Descripción: | Trabajo presentado a la International MicroNano Conference, celebrada en Amsterdam (Netherlands) del 8 al 9 de diciembre de 2015. | URI: | http://hdl.handle.net/10261/160795 |
| Aparece en las colecciones: | (CIN2) Comunicaciones congresos |
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