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Title

Dispositivo multiplicador de electrones micromecanizado para detección de partículas ionizantes, sistema de detección de partículas ionizantes y método de fabricación del dispositivo

Other TitlesMicro-machined electron multiplier for detecting ionising particles, system for detecting ionising particles, and method for producing said device
AuthorsCampanella Pineda, Humberto; Lozano Fantoba, Manuel; Cabruja Casas, Enric; Esteve i Tintó, Jaume; Brant de Campos, Jose; Cerqueira Gomes, Gabriela; Pessoa Lima Junior, Herman
Issue Date14-Sep-2013
CitationES2545685 B1
AbstractDispositivo multiplicador (1) de electrones micromecanizado y apilable para la detección de partículas ionizantes que comprende un sustrato sólido con una cavidad central micromecanizada (14) en el centro de la cara inferior del sustrato definiendo un contorno perimétrico de soporte del sustrato (12) alrededor de la cavidad y una pluralidad de orificios pasantes micromecanizados (13) situados en correspondencia con la cavidad (14); una primera capa dieléctrica aislante (17) depositada sobre todas las superficies del sustrato solido; un primer electrodo metálico de polarización (15) situado sobre la cara superior de la primera capa eléctrica aislante (17); y un segundo electrodo metálico de polarización (16) situado sobre la cara inferior de la primera capa eléctrica aislante (17).
URIhttp://hdl.handle.net/10261/135308
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