Dispositivo multiplicador de electrones micromecanizado para detección de partículas ionizantes, sistema de detección de partículas ionizantes y método de fabricación del dispositivo

Abstract

Dispositivo multiplicador (1) de electrones micromecanizado y apilable para la detección de partículas ionizantes que comprende un sustrato sólido con una cavidad central micromecanizada (14) en el centro de la cara inferior del sustrato definiendo un contorno perimétrico de soporte del sustrato (12) alrededor de la cavidad y una pluralidad de orificios pasantes micromecanizados (13) situados en correspondencia con la cavidad (14); una primera capa dieléctrica aislante (17) depositada sobre todas las superficies del sustrato solido; un primer electrodo metálico de polarización (15) situado sobre la cara superior de la primera capa eléctrica aislante (17); y un segundo electrodo metálico de polarización (16) situado sobre la cara inferior de la primera capa eléctrica aislante (17).