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Navegación por Palabras clave Bulk micromachining
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Derechos | Preview | Fecha Public. | Título | Autor(es) | Tipo |
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closedAccess | 2014 | Anisotropic etching on Si{110}: experiment and simulation for the formation of microstructures with convex corners | Pal, Prem; Gosálvez, M. A. CSIC ORCID; Sato, K.; Hida, H.; Xing, Yan | artículo |