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openAccesssensors-15-17036.pdf.jpg14-jul-2015Top-down CMOS-NEMS polysilicon nanowire with piezoresistive transductionMarigó, Eloi; Sansa, Marc; Perez Murano, Francesc X. CSIC ORCID ; Uranga del Monte, Arantxa; Barniol Beumala, Núriaartículo