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Title

Procedimiento de integración monolítica de materiales de alta calidad mecánica con circuitos integrados para aplicaciones MEMS/NEMS

AuthorsBarniol Beumala, Núria; Villarroya Gaudó, María; Abadal Berini, Gabriel; Verd Martorell, Jaume; Esteve i Tintó, Jaume; Figueras Costa, Eduard; Campabadal Segura, Francesca
Issue Date16-May-2008
CitationPublication nr.: ES 2299298 A1
DescriptionSolicitud de patente (concesión en curso).-- Referencia OEPM: P200501833.-- Fecha de presentación: 21/07/2005.-- Solicitantes: Universitata Autònoma de Barcelona (UAB), Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC).
URIhttp://hdl.handle.net/10261/6582
ReferencesES 2299298 A1
Appears in Collections:(IMB-CNM) Patentes
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