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http://hdl.handle.net/10261/285180
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Título: | Detector para medir la energía de electrones en microscopios electrónicos de barrido |
Otros títulos: | Sensor for measuring electron energy in scanning electron microscopes Détecteur pour mesurer l'énergie d'électrons dans des microscopes électroniques à balayage |
Autor: | Cervera Gontard, Lionel; Leñero-Bardallo, J. A. CSIC ORCID; Carmona-Galán, R. CSIC ORCID | Fecha de publicación: | 6-ene-2022 | Citación: | WO2022003220 A1 | Resumen: | [ES] La invención describe un detector para medir la energía de un haz de electrones (12) generados en un microscopio electrónicos de barrido, denominados SEM (1). El detector (29) es de estado sólido fabricado con dos o tres difusiones (10, 19, 20) apiladas verticalmente, formando un sensor con fotodiodos apilados verticalmente (17, 18). Cuando los electrones (12) impactan en el sensor con fotodiodos apilados verticalmente (17, 18) generan unas fotocorrientes que permiten medir de manera independiente la energía y la intensidad del haz de los electrones (12). [EN] The invention describes a sensor for measuring the energy of a beam of electrons (12) generated in a scanning electron microscope (SEM) (1). The sensor (29) is solid state and is produced with two or three vertically stacked diffusion layers (10, 19, 20), forming a sensor with vertically stacked photodiodes (17, 18). When the electrons (12) hit the sensor with vertically stacked photodiodes (17, 18), they generate photo currents that allow the energy and intensity of the beam of electrons (12) to be measured independently. [FR] La présente invention concerne un détecteur pour mesurer l'énergie d'un faisceau d'électrons (12) générés dans des microscopes électroniques à balayage appelés (MEB ou SEM). Le détecteur (29) est à l'état solide fabriqué avec deux ou trois diffuseurs (10, 19, 20) empilés verticalement, formant un capteur à photodiodes empilées verticalement (17, 18). Quand les électrons (12) viennent heurter le capteur avec des photodiodes empilées verticalement (17, 18), ils génèrent des photocourants qui permettent de mesurer de manière indépendante l'énergie et l'intensité du faisceau d'électrons. |
URI: | http://hdl.handle.net/10261/285180 |
Aparece en las colecciones: | (IMSE-CNM) Patentes |
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