Interferometerand sensor based on bimodal optical waveguide and sensing method

Abstract

The invention relates to a flat waveguide interferometer (15, 25, 35, 45) comprising: a substrate (8, 28, 38, 48); a bimodal waveguide (10, 20, 20', 30, 40) which, in turn, comprises at least one layer (1, 2, 3) deposited on said substrate (8, 28, 38, 48), said bimodal waveguide (10, 20, 20', 30, 40) being designed to support a zero-order transverse propagation mode and another, first-order transverse propagation mode, said transverse propagation modes having different dispersions; and a sensor plate (21, 31, 41, 51) arranged in a specific region of the upper part of the bimodal waveguide (10, 20, 20', 30, 40), said sensor plate (21, 31, 41, 51) being designed to receive a chemical, biological or physical stimulus that can change the effective refraction index of the bimodal wave guide (10, 20, 20', 30, 40). The bimodal waveguide (10, 20, 20', 30, 40) comprises means (9) for concentrating the light in the lateral direction and is therefore designed in such a way as to support a lateral mode. The invention also relates to a chip, a sensor and a detection method comprising a flat waveguide interferometer.

La invención relaciona a comprender plano del interferómetro de la guía de ondas (15, 25, 35, 45): un sustrato (8, 28, 38, 48) una guía de ondas bimodal (10, 20, 20 ', 30, 40) que, alternadamente, comprende por lo menos una capa (1, 2, 3) depositada en el sustrato dicho (8, 28, 38, 48), el ser bimodal dicho de la guía de ondas (10, 20, 20 ', 30, 40) diseñado al soporte un modo transversal de la propagación de la cero-orden y otro, modo transversal de primer orden de la propagación, modos transversales dichos de la propagación que tienen diferentes dispersiones y una placa del sensor (21, 31, 41, 51) dispuesta en una región específica del parte superior de la guía de ondas bimodal (10, 20, 20 ', 30, 40), de ser dicho de la placa del sensor (21, 31, 41, 51) diseñado para recibir un estímulo del producto químico, biológico o físico que cambio del bote el índice eficaz de la refracción de la guía de ondas bimodal (10, 20, 20 ', 30, 40). La guía de ondas bimodal (10, 20, 20 ', 30, 40) comprende el medio (9) para concentrar la luz en la dirección lateral y es por lo tanto a fin de soporte diseñado al modo lateral. La invención también relaciona a un chip, a un sensor y a un método de detección comprendiendo un interferómetro plano de la guía de ondas.