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Rights	Preview	Issue Date	Title	Author(s)	Type
closedAccess		2000	Use of ferrofluids in micromechanics	Pérez Castillejo, Raquel; Plaza, José Antonio CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Losantos, P.; Acero Leal, María Cruz ; Cané Ballart, Carles; Serra-Mestres, F.	artículo
closedAccess		1999	Micromachined optical fiber current sensor	Heredero, R. L.; Fernández de Caleya, R.; Guerrero, H.; Santos, P.; Acero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume	artículo
closedAccess		15-Jun-1992	Carrier transport and storage in Si3N4 for metal-nitride-oxide-semiconductor memory applications	Martín, Ferran; Aymerich, Xavier; Campabadal, Francesca; Acero Leal, María Cruz	artículo
closedAccess		1993	TMAH/IPA anisotropic etching characteristics	Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz ; Bao, Min-Hang; Bausells, Joan CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume	artículo
closedAccess		1993	Analysis of buried etch-stop layers in silicon by nitrogen-ion implantation	Acero Leal, María Cruz ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Garrido, Blas; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.	artículo
closedAccess		Dec-1994	Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted silicon	Acero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Bausells, Joan CSIC ORCID; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.	artículo
closedAccess		1995	Electrochemical etch-stop characteristics of TMAH:IPA solutions	Acero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Burrer, Chr.; Götz, Andreas	artículo
closedAccess		Jun-1995	Application of nickel electroless plating to the fabrication of low-cost backside contact ISFETs	Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Cané Ballart, Carles; Bausells, Joan CSIC ORCID	artículo
closedAccess		1996	Etch-stop behavior of buried layers formed by substoichiometric nitrogen ion implantation into silicon	Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Acero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; El‐Hassani, A.	artículo
closedAccess		Jun-1997	Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop properties	Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhard	artículo
closedAccess		1997	Design of a modular micropump based on anodic bonding	Acero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josep	artículo
closedAccess		20-Apr-1999	β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications	Serre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, J. R.; Fonseca, Luis; Acero Leal, María Cruz ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang	artículo
closedAccess		1999	Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical properties	Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz	artículo
closedAccess		May-2000	Epitaxial growth of β-SiC on ion-beam synthesized β-SiC: Structural characterization	Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz	artículo
closedAccess		2000	Ion beam synthesis of polycrystalline SiC on SiO2 structures for MEMS applications	Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang	artículo
closedAccess		Jan-2001	Structural and electrical characterization of ion beam synthesized and n-doped SiC layers	Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz	artículo
closedAccess		2001	An analytical model for passive microvalves	Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josep; Acero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume	artículo
closedAccess		12-Dec-2001	Ion beam synthesis of n-type doped SiC layers	Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz	artículo
closedAccess		2009	Patterning of ALD HfO2 layers on silicon	Andreu, Robert; Sanchez, Javier; Sanchez, Ana; Zabala, Miguel; Acero Leal, María Cruz ; Rafí, J.M. CSIC ORCID ; Campabadal, Francesca	artículo
openAccess		29-Jun-2015	Dedicated Random Telegraph Noise Characterization of Ni/HfO2-based RRAM Devices	González, M. B.; Martín-Martínez, Javier; Rodríguez, Rosana; Acero Leal, María Cruz ; Nafría, Montserrat; Campabadal, Francesca; Aymerich, Xavier	comunicación de congreso