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(IMB-CNM) Artículos : [405]  

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RightsPreviewIssue DateTitleAuthor(s)Type
closedAccess2000Use of ferrofluids in micromechanicsPérez Castillejo, Raquel; Plaza, José Antonio CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Losantos, P.; Acero Leal, María Cruz ; Cané Ballart, Carles; Serra-Mestres, F.artículo
closedAccess1999Micromachined optical fiber current sensorHeredero, R. L.; Fernández de Caleya, R.; Guerrero, H.; Santos, P.; Acero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaumeartículo
closedAccess15-Jun-1992Carrier transport and storage in Si3N4 for metal-nitride-oxide-semiconductor memory applicationsMartín, Ferran; Aymerich, Xavier; Campabadal, Francesca; Acero Leal, María Cruz artículo
closedAccess1993TMAH/IPA anisotropic etching characteristicsMerlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz ; Bao, Min-Hang; Bausells, Joan CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaumeartículo
closedAccess1993Analysis of buried etch-stop layers in silicon by nitrogen-ion implantationAcero Leal, María Cruz ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Garrido, Blas; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.artículo
closedAccessDec-1994Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted siliconAcero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Bausells, Joan CSIC ORCID; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.artículo
closedAccess1995Electrochemical etch-stop characteristics of TMAH:IPA solutionsAcero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Burrer, Chr.; Götz, Andreasartículo
closedAccessJun-1995Application of nickel electroless plating to the fabrication of low-cost backside contact ISFETsMerlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Cané Ballart, Carles; Bausells, Joan CSIC ORCIDartículo
closedAccess1996Etch-stop behavior of buried layers formed by substoichiometric nitrogen ion implantation into siliconPérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Acero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; El‐Hassani, A.artículo
closedAccessJun-1997Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop propertiesSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhardartículo
closedAccess1997Design of a modular micropump based on anodic bondingAcero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josepartículo
closedAccess20-Apr-1999β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applicationsSerre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, J. R.; Fonseca, Luis; Acero Leal, María Cruz ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgangartículo
closedAccess1999Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical propertiesSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz artículo
closedAccessMay-2000Epitaxial growth of β-SiC on ion-beam synthesized β-SiC: Structural characterizationRomano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz artículo
closedAccess2000Ion beam synthesis of polycrystalline SiC on SiO2 structures for MEMS applicationsSerre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, J. R.; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgangartículo
closedAccessJan-2001Structural and electrical characterization of ion beam synthesized and n-doped SiC layersSerre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz artículo
closedAccess2001An analytical model for passive microvalvesCarmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josep; Acero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaumeartículo
closedAccess12-Dec-2001Ion beam synthesis of n-type doped SiC layersSerre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz artículo
closedAccess2009Patterning of ALD HfO2 layers on siliconAndreu, Robert; Sanchez, Javier; Sanchez, Ana; Zabala, Miguel; Acero Leal, María Cruz ; Rafí, J.M. CSIC ORCID ; Campabadal, Francescaartículo
openAccess29-Jun-2015Dedicated Random Telegraph Noise Characterization of Ni/HfO2-based RRAM DevicesGonzález, M. B.; Martín-Martínez, Javier; Rodríguez, Rosana; Acero Leal, María Cruz ; Nafría, Montserrat; Campabadal, Francesca; Aymerich, Xaviercomunicación de congreso
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