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Título

T-shaped microcantilever sensor with reduced deflection offset

AutorPlaza, José Antonio; Zinoviev, Kirill; Villanueva, G.; Álvarez, Mar ; Tamayo de Miguel, Francisco Javier ; Domínguez, Carlos; Lechuga, Laura M.
Fecha de publicación31-ago-2006
EditorAmerican Institute of Physics
CitaciónApplied Physics Letters 89(9): 094109 (2006)
ResumenThe authors have designed and fabricated arrays of microcantilevers with a geometry that shows reduced initial angular offset and angle deviation between the cantilevers of the array. This feature allows to detect the displacement of the cantilevers using the optical beam deflection technique and a single split photodetector. The structure is analytically and numerically simulated to demonstrate its feasibility. In addition, experimental measurements of the angle offset corroborate the offset and the angle deviation reduction. Finally, they illustrate the potential of these micromechanical structures as sensors by measuring a monolayer of single stranded DNA.
Descripción3 páginas, 2 figuras, 1 tabla.
Versión del editorhttp://dx.doi.org/10.1063/1.2345234
URIhttp://hdl.handle.net/10261/27968
DOI10.1063/1.2345234
ISSN0003-6951
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