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Título : Optical waveguide cantilever actuated by light
Autor : Zinoviev, Kirill; Domínguez, Carlos; Plaza, José Antonio; Lechuga, Laura M.
Palabras clave : bending
cantilevers
micromechanical devices
optical modulation
optical waveguides
Fecha de publicación : 4-ene-2008
Editor: American Institute of Physics
Citación : APPLIED PHYSICS LETTERS 92, 011908, 2008
Resumen: We present experimental studies and theoretical analysis of a microcantilever working as an optical waveguide metallized from one side and actuated by light propagating inside it. Light absorbed in the metallic layer increases the temperature of the bimetallic structure and induces the cantilever bending. Dynamical properties of the cantilevers were studied using actuation by light modulated at frequencies of up to 800 Hz. The deflection of the cantilever by 400 nm was obtained while 0.25 mW of light power was coupled inside it.© 2008 American Institute of Physics.
URI : http://hdl.handle.net/10261/2789
DOI: 10.1063/1.2830818
ISSN: 0003-6951
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