Electron sensor for electron microscopy

Abstract

This invention consists of an electron sensor (1) and a system with a plurality of electron sensors (1) for electron microscopy using an electron microscope. More specifically, the electron microscope generates an electron beam (10) that comprises at least one electron that impacts on a lateral reception surface (3) of said electron sensor (1) and this generates an electrical charge of hole-electron pairs (h-e) that are detected and/or measured by at least electrodes (6, 7) linked to an electric circuit unit (12) to form a high dynamic range image (11) and measure the energy of the electrons impacting each pixel of the image. [EN]

La presente invención es un sensor de electrones (1), y un sistema con una pluralidad de sensores de electrones (1) para microscopía electrónica realizada mediante un microscopio electrónico. Más concretamente, el microscopio electrónico genera un haz de electrones (10) que comprende al menos un electrón que incide sobre una superficie de recepción lateral (3) de dicho sensor de electrones (1) y este genera una carga eléctrica de pares electrón-hueco (e-h) que son detectados y/o medidos por al menos electrodos (6,7) vinculados con una unidad de circuitería eléctrica (12) para formar una imagen (11) con elevado rango dinámico y medir la energía de los electrones incidentes en cada pixel de la imagen. [ES]