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Título

Factores que influyen en la nanolitografía de oxidación local: Resolución, cinética comparativa y nanofabricación

AutorTello Ruiz, Marta
DirectorGarcía García, Ricardo
Palabras claveNanotecnología
AFM
Oxidación local
Fecha de publicación11-jun-2004
ResumenEn este trabajo de tesis se han estudiado diversos factores que pueden afectar al proceso de oxidación local y que pueden ayudar a entender la cinética de la reacción. Tratando el sistema punta-agua-muestra como una celda electroquímica, se han ido variando cada una de las partes para ver cómo influye en el resultado final. A lo largo de este trabajo se verán las diferencias que se han encontrado al oxidar en los diferentes modos de operación del Microscopio de Fuerzas, al cambiar de substrato o al variar el líquido con el que se forma el cuello. Se ha estudiado también la influencia de la punta sobre el tamaño final de los óxidos así como el límite de resolución alcanzable con esta técnica. Se trata por tanto de un trabajo prácticamente fundamental en el que se presentan algunos resultados que afectan a la cinética de oxidación y establecen límites de resolución del método con las técnicas actuales. Finalmente se han buscado aplicaciones prácticas en el crecimiento estructurado de moléculas orgánicas que pueden ser interesantes para fabricar dispositivos de tamaño nanométrico.
Descripción160 págs.-- Tesis leída el 11 de junio de 2004 en el Departamento de Física de la Materia Condensada de la Facultad de Ciencias de la Universidad Autónoma de Madrid.
URIhttp://hdl.handle.net/10261/17349
Aparece en las colecciones: (IMN-CNM) Tesis
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