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Título

In-situ monitoring of the Atomic Force Microscopy (AFM) tip by analysing the cantilever’s higher harmonic vibrations

AutorRull, Enrique; Staufer, Urs
Fecha de publicación2015
CitaciónMNC 2015
ResumenAutomated in-line Metrology for Nanoscale Production: Aim4np Project. New metrological processes in industry; a challenge in industry.
DescripciónTrabajo presentado a la International MicroNano Conference, celebrada en Amsterdam (Netherlands) del 8 al 9 de diciembre de 2015.
URIhttp://hdl.handle.net/10261/160795
Aparece en las colecciones: (CIN2) Comunicaciones congresos
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