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Título

Chemical and structural analysis of sub-20 nm graphene patterns generated by scanning probe lithography

AutorDago, Arancha I.; Sangiao, S.; Fernández-Pacheco, Rodrigo; Teresa, José María de; García García, Ricardo
Fecha de publicaciónabr-2018
EditorElsevier
CitaciónCarbon 129: 281-285 (2018)
ResumenSub-20 nm patterns have been fabricated by using oxidation scanning probe lithography on epitaxial graphene. The structural and chemical properties of these nanopatterns have been characterized by high resolution transmission electron microscopy, energy dispersive X-ray spectroscopy and electron energy loss spectroscopy. The electron microscopy images reveal that the nanolithography process modifies the graphene monolayer and a thin region of the SiC substrate (1 nm thick). Spatially-resolved electron spectroscopies show that the nanopatterns are made of graphene oxide. The combination of spatially-resolved structural and chemical analysis of graphene nanopatterns will enable the development of high-performance graphene devices.
Versión del editorhttp://doi.org/10.1016/j.carbon.2017.12.033
URIhttp://hdl.handle.net/10261/158989
DOI10.1016/j.carbon.2017.12.033
ISSN0008-6223
Aparece en las colecciones: (ICMM) Artículos
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