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Título

Estudio composicional y microestructural de láminas delgadas ferroeléctricas obtenidas con tratamientos térmicos rápidos

Otros títulosCompositional and microstructural study of ferroelectric thin filsm treated with treated with a rapid thermal process
AutorMartínez Domingo, M. J.; Calzada, M. L. ; Sirera Bejarano, Rafael
Palabras claveTratamientos térmicos rápidos
Sol-gel
Láminas delgadas
Ferroeléctrico
Rapid thermal annealing
Thin films
Ferroelectric
Fecha de publicaciónjun-1998
EditorSociedad Española de Cerámica y Vidrio
CitaciónBoletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 37(2-3): 109-112 (1998)
Resumen[ES] Láminas delgadas ferroeléctricas de titanato de plomo modificado con calcio se han preparado mediante un proceso sol-gel. Para la cristalización de la fase perovskita, las láminas se someten a tratamientos térmicos rápidos (RTP), con velocidades de calentamiento de ~30ºC/s. La concentración de las soluciones precursoras de partida afecta al espesor final de las láminas y, por tanto, repercute en la microestructura resultante. Por otro lado, la incorporación de excesos de PbO en las soluciones precursoras compensa la falta de estequiometría en las láminas y afecta también a la microestructura final.
[EN] Calcium modified lead tiranate ferroelectric thin films were prepared by a sol-gel process. The films require a thermal treatment in order to promote the crystallization of a perovskite phase. In this work films have been treated by rapid thermal process, denoted as RTP, using heating rates of ~30ºC/s. Molarity of the precursor solutions affects directly the thickness and, consequently, the final microstructure of the films. On the other hand, addition of PbO excess to the precursor solution compensates the stoichiometry and has influence on the microstructure.
URIhttp://hdl.handle.net/10261/15848
ISSN0366-3175
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