English   español  
Por favor, use este identificador para citar o enlazar a este item: http://hdl.handle.net/10261/15287
COMPARTIR / IMPACTO:
Estadísticas
logo share SHARE   Add this article to your Mendeley library MendeleyBASE
Visualizar otros formatos: MARC | Dublin Core | RDF | ORE | MODS | METS | DIDL
Exportar a otros formatos:
Título

Fabricación de nanoestructuras biomoleculares y nanodispositivos electrónicos mediante Nanolitografía por Oxidación Local

AutorMartínez Garrido, Ramsés Valentín
DirectorGarcía García, Ricardo
Palabras claveNanotecnología
AFM
Nanofabricación
Nanodispositivos
Nanohilos de silicio
Nanoimprint
Funcionalizar
Nanopartículas
Fecha de publicación22-jul-2009
ResumenUno de los retos científicos y tecnológicos actuales consiste en el diseño, la fabricación y la operación de dispositivos formados por unos pocos átomos. Para convertir este reto en una realidad es necesario desarrollar técnicas de litografía que permitan la fabricación de dispositivos con dimensiones inferiores a 10nm. El Microscopio de Fuerzas Atómicas (AFM) basa su funcionamiento en la detección de fuerzas a escala atómica mediante la medida óptica de la deflexión de una micropalanca muy sensible, que tiene situada una punta de forma piramidal en su extremo. Aunque la principal aplicación de este microscopio consiste en la caracterización topográfica de superficies, su versatilidad y precisión le han convertido en una importante herramienta para la fabricación de nanoestructuras. En esta tesis se desarrolla y optimiza una técnica de nanofabricación basada en el confinamiento de reacciones químicas que permite la fabricación de motivos de tamaño inferior a los 10nm. Estas nanoestructuras fabricadas con el AFM se utilizarán como centros de atracción electrostática para diferentes tipos de moléculas permitiendo su deposición preferencial. Finalmente, se trabajará en la posibilidad de utilizar los motivos realizados con el microscopio de fuerzas como máscaras frente ataques químicos que permitan la fabricación de dispositivos de tamaño nanométrico. La presente tesis está dividida en 5 capítulos y 2 apéndices. El primer capítulo introduce los conceptos y técnicas que se desarrollarán en la tesis así como el papel fundamental de la microscopía de fuerzas en los avances de la nanotecnología. El resto de capítulos detallan los estudios realizados en el campo de la nanolitografía mediante microscopía de fuerzas con el objetivo de buscar nuevos aportes a la nanotecnología. En estos capítulos se abordan los siguientes temas: 1. La optimización de las litografías basadas en el confinamiento de reacciones electroquímicas con la punta del microscopio de fuerzas (Capítulo 2). 2. La fabricación de nanoestructuras moleculares funcionales mediante el control de las interacciones electrostáticas entre moléculas y substrato (Capítulos 3 y 4). 3. La fabricación de nanodispositivos basados en nanohilos de silicio mediante la combinación de la litografía de oxidación local y el ataque químico selectivo (Capítulo 5). En el apéndice A se describirá la monitorización de los procesos de litografía por AFM. El apéndice B se detallará el protocolo empleado para la eliminar los efectos de convolución de las imágenes AFM debidos al tamaño finito de la punta.
Descripción265 págs.-- Tesis leída el 22 de julio de 2009 en el Departamento de Física de la Materia Condensada de la Facultad de Ciencias de la Universidad Autónoma de Madrid.
El registro contiene el texto de la Tesis y una presentación.
URIhttp://hdl.handle.net/10261/15287
Aparece en las colecciones: (IMN-CNM) Tesis
Ficheros en este ítem:
Fichero Descripción Tamaño Formato  
Martinez, Ramses V.Tesis_2009.pdf22,93 MBAdobe PDFVista previa
Visualizar/Abrir
Charla_Tesis_FINAL.ppsx57,48 MBUnknownVisualizar/Abrir
Mostrar el registro completo
 


NOTA: Los ítems de Digital.CSIC están protegidos por copyright, con todos los derechos reservados, a menos que se indique lo contrario.