Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges

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Título:	Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges
Autor:	Romero, M.F.; Sanz, M.M. CSIC ORCID; Muñoz, E.; Jiménez, A.; Tanarro, Isabel CSIC ORCID
Fecha de publicación:	9-sep-2008
Editor:	Sociedad Española de Química Analítica
Citación:	XXI Reunión Nacional de Espectroscopia (2008) V Congreso Ibérico de Espectroscopia (2008)
Descripción:	XXI Reunión Nacional de Espectroscopia. V Congreso Ibérico de Espectroscopia, Murcia, 9-11 de Septiembre de 2008
URI:	http://hdl.handle.net/10261/134526
Aparece en las colecciones:	(CFMAC-IEM) Comunicaciones congresos