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Título

Tapered silicon nanowires for enhanced nanomechanical sensing

AutorMalvar, Óscar ; Gil-Santos, Eduardo ; Ruz Martínez, José Jaime ; Ramos Vega, Daniel ; Pini, Valerio ; Fernández-Regúlez, Marta; Calleja, Montserrat ; Tamayo de Miguel, Francisco Javier ; San Paulo, Álvaro
Fecha de publicación2013
EditorAmerican Institute of Physics
CitaciónApplied Physics Letters 103: 033101 (2013)
ResumenWe investigate the effect of controllably induced tapering on the resonant vibrations and sensing performance of silicon nanowires. Simple analytical expressions for the resonance frequencies of the first two flexural modes as a function of the tapering degree are presented. Experimental measurements of the resonance frequencies of singly clamped nanowires are compared with the theory. Our model is valid for any nanostructure with tapered geometry, and it predicts a reduction beyond two orders of magnitude of the mass detection limit for conical resonators as compared to uniform beams with the same length and diameter at the clamp. © 2013 AIP Publishing LLC.
Versión del editorhttp://dx.doi.org/10.1063/1.4813819
URIhttp://hdl.handle.net/10261/132832
DOI10.1063/1.4813819
Identificadoresissn: 0003-6951
e-issn: 1077-3118
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