English   español  
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10261/122890
Share/Impact:
Statistics
logo share SHARE   Add this article to your Mendeley library MendeleyBASE
Visualizar otros formatos: MARC | Dublin Core | RDF | ORE | MODS | METS | DIDL | DATACITE
Exportar a otros formatos:

Title

Análisis con resolución nanométrica de recubrimientos ultra-delgados en substratos de silicio, utilizando descargas luminiscentes de radiofrecuencia pulsada con detección por espectrometría de masas de tiempo de vuelo

AuthorsBordel, N.; Pisonero, J.; Martín, José Ignacio ; Quirós, Carlos ; Hierro-Rodríguez, A. ; Sanz-Medel, A.
KeywordsDescarga luminiscente
Espectrometría de masas de tiempo de vuelo
Capas delgadas
Resolución en profundidad
Issue Date2010
PublisherSociemat
CitationXI Congreso Nacional de Materiales (2010)
AbstractEn este trabajo se han preparado y analizado dos series de muestras formadas por un sustrato de Si sobre el que se han depositado bicapas Nb/Al en una de las series y Si/Co en la otra. La capa exterior en cada serie de muestras es de espesor fijo, 50 nm en el caso del Nb y 30 nm para el Si. La capa interna depositada sobre el sustrato tiene espesor variable desde 50 nm hasta 1 nm. Dichas muestras fueron analizadas mediante descarga luminiscente de radiofrecuencia pulsada con detección por espectrometría de masas de tiempo de vuelo para estudiar el potencial de esta técnica para el análisis de capas ultra-delgadas. Los resultados muestran que es posible analizar y resolver capas de espesores tan delgados como 1 nm. Los perfiles obtenidos por esta técnica se han comparado con los obtenidos mediante espectrometría de masas de iones secundarios.
DescriptionTrabajo presentado al XI Congreso Nacional de Materiales celebrado en Zaragoza del 23 al 25 de junio de 2010.-- et al.
URIhttp://hdl.handle.net/10261/122890
Appears in Collections:(CINN) Comunicaciones congresos
Files in This Item:
File Description SizeFormat 
tiempo de vuelo.pdf414,6 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record
Review this work
 


WARNING: Items in Digital.CSIC are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.