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Título

Effect of reactive ion beam etching on the photoluminescence of CdTe epitaxial layers

Autor Martínez-Pastor, Juan; Fuster, David ; Abellán Rubio, María de los Ángeles ; Anguita, José Virgilio ; Sochinskii, N. V.
Palabras clave Cadmium compounds
Etching
II-VI semiconductors
Impurities
Ion beam assisted deposition
MOCVD
Photoluminescence
Sapphire
Semiconductor epitaxial layers
Spectral line intensity
Vapour phase epitaxial growth
Fecha de publicación 10-mar-2008
EditorAmerican Institute of Physics
Citación Journal of Applied Physics 103, 056108 (2008)
ResumenWe demonstrated the effect of reactive ion beam etching (RIBE) process on the PL properties of CdTe/sapphire metal organic vapor phase epitaxy layers. At optimum conditions, the RIBE attack does not make significant morphological changes but it results in an increase of the concentration of acceptor impurities. This was revealed by an increase of the overall photoluminescence (PL) intensity and, simultaneously, a decrease of the PL decay time, more important on the low energy side of PL spectrum due to the recombination of carriers in acceptor pairs.
Descripción http://link.aip.org/link/?JAPIAU/103/056108/1
Versión del editorhttp://dx.doi.org/10.1063/1.2874480
URI http://hdl.handle.net/10261/11694
DOI10.1063/1.2874480
ISSN0021-8979
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