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Title

Growth of SiO2 Thin Films by Plasma-Assisted Reactive Magnetron Sputtering under the Impingement of Positive and Negative Ions

AuthorsMacías-Montero, M. ; García-García, Francisco J. ; Álvarez, Rafael ; Gil-Rostra, J. ; Yubero, Francisco ; González-Elipe, Agustín R. ; Palmero, Alberto ; Cotrino, José
Issue DateJan-2012
PublisherReal Sociedad Española de Física
CitationVII Reunión Bienal del Grupo Especializado de Física de Estado Sólido, Sevilla (España)
DescriptionPresentación en la VII Reunión Bienal del Grupo Especializado de Física de Estado Sólido
URIhttp://hdl.handle.net/10261/101041
Appears in Collections:(ICMS) Comunicaciones congresos
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