2024-03-29T00:52:24Zhttp://digital.csic.es/dspace-oai/requestoai:digital.csic.es:10261/927342022-12-21T08:33:35Zcom_10261_36com_10261_4col_10261_1297
Method and system for characterization of nano and micromechanical structures
Método y sistema de caracterización de estructuras nano y micro mecánicas
Tamayo de Miguel, Francisco Javier
Pini, Valerio
Kosaka, Priscila M.
Calleja, Montserrat
González-Castilla, Sheila
[EN] Method and system in optical microscopy based on the deflection of micro- and nanomechanical structures, upon impact of a laser beam thereon, which simultaneously and automatically provides a spatial map of the static deflection and of the form of various vibration modes, with vertical resolution in the subangstrom range. The invention comprises at least one mechanical structure, an incident laser beam sweeping the surface of the structure, an optometric detector for capturing the laser beam, and frequency excitation means that generate at least two sinusoidal signals at different frequencies in the mechanical structure.
[ES] Método y sistema de microscopia óptica basada en la deflexión de estructuras micro y nano mecánicas al incidir un haz láser en ellas que provee simultáneamete y de manera automática de un mapa espacial de la deflexión estática y de la forma de diversos modos de vibración con resolución vertical en el rango de subangstrom. Comprendiendo al menos una estructura mecánica, un haz láser incidente que barre la superficie de la estructura, un detector optométrico para la captura del haz láser y unos medios de excitación en frecuencia que generan al menos dos señales sinusoidales a diferentes frecuencias en la estructura mecánica.
Peer reviewed
Consejo Superior de Investigaciones Científicas (España)
A1 Solicitud de patente con informe sobre el estado de la técnica
2014-02-28T09:20:17Z
2014-02-28T09:20:17Z
2013-12-12
2012-06-07
patente
http://purl.org/coar/resource_type/c_15cd
WO2013182721 A1
http://hdl.handle.net/10261/92734
PCT/ES2013/070331
es
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