2024-03-28T09:24:51Zhttp://digital.csic.es/dspace-oai/requestoai:digital.csic.es:10261/1353142018-08-22T12:15:27Zcom_10261_36com_10261_4col_10261_1297
Sistema y procedimiento de inspección de superficies de estructuras micro y nanomecánicas
Tamayo de Miguel, Francisco Javier
Mertens, Johann
Calleja, Montserrat
Sistema de inspección de superficies dispuesto para detectar características de desplazamiento relativo y/o de vibración de diversos puntos de una pluralidad de elementos (51) que forman parte de una estructura mecánica (5), comprendiendo dicho sistema:
una fuente de luz (1) dispuesta para generar, al menos, un haz de luz (11);
un detector sensible a la posición (2) dispuesto para recibir el haz de luz cuando es reflejado fuera de la estructura mecánica (5) y para generar, al menos, una señal de salida en respuesta a la recepción de dicho haz de luz;
un sistema de control electrónico (3);
un medio de exploración (4) para el desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica (5) con el fin de explorar dicha estructura mecánica con el haz de luz, siguiendo las instrucciones del sistema de control electrónico (3);
caracterizado porque
dicho sistema de control electrónico (3) está dispuesto para controlar el medio de exploración (4) con el fin de desplazar el haz de luz por la estructura mecánica a lo largo de una primera trayectoria (A) con objeto de detectar una pluralidad de posiciones de referencia subsiguientes (C), cada una en un elemento, a lo largo de dicha primera trayectoria (A), en el que dicho sistema de control electrónico (3) está asociado operativamente con dicho detector sensible a la posición (2) para determinar dichas posiciones de referencia (C) como resultado de un análisis de, al menos, una señal de salida de dicho detector sensible a la posición (2);
en el que dicho sistema de control electrónico (3) está dispuesto además para controlar el medio de exploración (4) para desplazar el haz de luz por la estructura mecánica a lo largo de una pluralidad de segundas trayectorias (B), estando asociada cada una de dichas segundas trayectorias (B) con una de dichas posiciones de referencia (C);
dicho sistema de control electrónico está dispuesto además para obtener, durante el desplazamiento del haz de luz a lo largo de cada una de dichas segundas trayectorias (B), una pluralidad de salidas de señales de posición de dicho detector sensible a la posición (2).
Peer reviewed
Consejo Superior de Investigaciones Científicas (España)
T3 Traducción de patente europea
2016-08-04T09:19:10Z
2016-08-04T09:19:10Z
2015-09-28
2005-07-14
traducción de patente
ES2546789 T3
http://hdl.handle.net/10261/135314
E05380157
es
EP1744325 A1 (2007-01-17)
EP1744325 B1 (2015-06-10)
Sí
open