2024-03-28T18:43:26Zhttp://digital.csic.es/dspace-oai/requestoai:digital.csic.es:10261/45302017-03-21T09:00:41Zcom_10261_89com_10261_3col_10261_342
2008-05-27T06:57:03Z
urn:hdl:10261/4530
Propiedades dieléctricas de laminas delgadas de (Pb,Ca)TiO3 con alto contenido de Ca
Calzada, M. L.
Mendiola, J.
Jiménez, Ricardo
Alemany, C.
Maurer, E.
Ramos, Pablo
Ferroelectric films
DRAM
Varactors
[ES] Se han preparado láminas delgadas de titanato de plomo modificado con calcio, Pb1-xCaxTiO3, (PTCa) con x>35%, depositadas sobre
substratos de Pt/TiO2/SiO2/(100)Si y Pt/(100)MgO, empleando la técnica de sol-gel y un horno rápido de procesado (RTP). Se intenta obtener
propiedades cercanas al material cerámico masivo, como son la bajada de la temperatura de la transición ferro-paraeléctrica y el aumento
de la permitividad, ε´ a temperatura ambiente. Así, se consiguen láminas de contenido de Ca próximas al 40% y 50% con valores altos
de permitividad, poco dependientes de la temperatura, que presentan un alto carácter difuso en la transición para temperaturas próxima a
ambiente y un comportamiento de la capacidad con el voltaje, C-V,que las hacen de interés en la fabricación de DRAM y dispositivos para
alta frecuencia.
[EN] Lead titanate thin films modified with calcium, Pb1-xCaxTiO3, with x>35%, have been deposited onto Pt/TiO2/SiO2/(100)Si y Pt/(100)MgO
substrates, by the sol-gel method and a rapid thermal processing (RTP). Properties similar to the counterpart bulk ceramics are planned, such
as the decrease of the phase transition temperature and the increase of permittivity at room temperature. Films with Ca content close to 40 %
and 50% exhibit at room temperature, high enough permittivity with reduced temperature dependence and a C-V behaviour that make them
of interest for DRAM and high frequency devices.
2008-05-27T06:57:03Z
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2004-03
artículo
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 43(2): 445-447 (2004)
0366-3175
http://hdl.handle.net/10261/4530
spa
http://boletines.secv.es/es/index.php?id=18&vol=43
openAccess
Sociedad Española de Cerámica y Vidrio