Campabadal Segura, Francesca

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Firma en Digital.CSIC (*)

Centro o Instituto

CSIC - Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM)

Especialización

Silicon technology, electronic devices

francesca.campabadal@cnm.es

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		Rights	Preview	Issue Date	Title	Author(s)	Type
	1	openAccess		16-May-2008	Procedimiento de integración monolítica de materiales de alta calidad mecánica con circuitos integrados para aplicaciones MEMS/NEMS	Barniol Beumala, Núria; Villarroya Gaudó, María; Abadal Berini, Gabriel; Verd Martorell, Jaume; Esteve i Tintó, Jaume; Figueras Costa, Eduard; Campabadal Segura, Francesca	patente
	2	openAccess		1-May-1999	Medidor de caudal de elemento estrangulador con microsensor de presión incorporado	Krassow, Heiko Elmar; Campabadal Segura, Francesca ; Lora-Tamayo D’Ocón, Emilio	patente