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Derechos | Preview | Fecha Public. | Título | Autor(es) | Tipo |
closedAccess | | 1993 | Analysis of buried etch-stop layers in silicon by nitrogen-ion implantation | Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Garrido, Blas; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 26-sep-1993 | Anisotropic etch-stop properties of nitrogen implanted silicon | Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID | póster de congreso |
closedAccess | | dic-1994 | Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted silicon | Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 16-jun-1998 | beta-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications | Serre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Fonseca, Luis; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | comunicación de congreso |
openAccess | | 23-dic-2010 | device for generating electric power from small movements | Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Fondevilla Sala, Nuria; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe | solicitud de patente |
openAccess | | 29-mar-2012 | Dispositivo para generar energía eléctrica a partir de pequeños movimientos | Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Fondevilla Sala, Nuria; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe | solicitud de patente |
closedAccess | | 11-may-2011 | Electromagnetic harvester device for scavenging ambient mechanical energy with slow, variable, and randomness nature | Fondevilla Sala, Nuria; Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Cabruja Casas, Enric CSIC ORCID ; Campanella Pineda, Humberto; Esteve i Tintó, Jaume | comunicación de congreso |
closedAccess | | may-2000 | Epitaxial growth of β-SiC on ion-beam synthesized β-SiC: Structural characterization | Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 1996 | Etch-stop behavior of buried layers formed by substoichiometric nitrogen ion implantation into silicon | Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat Martí, Josep CSIC ORCID ; El‐Hassani, A. | artículo |
closedAccess | | 5-jun-2001 | Ion Beam synthesis of n-type doped SiC layers | Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | comunicación de congreso |
closedAccess | | 12-dic-2001 | Ion beam synthesis of n-type doped SiC layers | Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 2000 | Ion beam synthesis of polycrystalline SiC on SiO2 structures for MEMS applications | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang | artículo |
closedAccess | | 25-mar-2001 | Ion Beam Synthesis of SiC on Insulator Structures | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Dieter, P.; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang | comunicación de congreso |
openAccess | | 4-oct-2001 | Method for the production of silicon carbide (SIC) layers by means of ionic implantion of carbon and anneals. | Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | patente |
closedAccess | | dic-1993 | Microstructure of Buried Thin Etch Stop Films Formed by Nitrogen Implantation into Silicon | Romano-Rodríguez, Alberto; El‐Hassani, A.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Samitier, Josep; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | comunicación de congreso |
closedAccess | | 20-feb-1997 | Síntesis de microestructuras de SiC en substrato de Si mediante implantación iónica | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | póster de congreso |
closedAccess | | ene-2001 | Structural and electrical characterization of ion beam synthesized and n-doped SiC layers | Serre, Christophe; Panknin, D.; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Kögler, Reinhard; Skorupa, Wolfgang; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 16-oct-2000 | Structural Characterization of Ion Beam Synthesysed Polycristalline SiC on SiO2 | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID | comunicación de congreso |
closedAccess | | jun-1997 | Synthesis of SiC microstructures in Si technology by high dose carbon implantation: Etch-stop properties | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Calvo Barrío, L.; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhard | artículo |
closedAccess | | 1995 | Synthesis of thin membranes in Si Technology by carbon ion implantation | Serre, Christophe; Pérez Rodríguez, Alejandro; Calvo Barrío, L.; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, Joan Ramón CSIC ORCID; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz CSIC ORCID ; Skorupa, Wolfgang; Kögler, Reinhard | comunicación de congreso |