English
español
Navegación por Autor Benedicto, Marcos
Mostrando resultados 1 a 7 de 7
Derechos | Preview | Fecha Public. | Título | Autor(es) | Tipo |
openAccess | | 31-may-2011 | Fabrication of HfO2 patterns by laser interference nanolithography and selective dry etching for III-V CMOS application | Benedicto, Marcos CSIC; Galiana, Beatriz CSIC ORCID; Molina-Aldareguia, Jon; Monaghan, Scott; Hurley, Paul K.; Cherkaoui, Karim; Vázquez, Luis CSIC ORCID ; Tejedor, Paloma CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 2014 | First tests of the ion irradiation and implantation beamline at the CMAM | Jiménez-Rey, D.; Benedicto, Marcos CSIC; Muñoz-Martín, A.; Bachiller-Perea, D.; Olivares Pascual, José CSIC; Climent-Font, A.; Gómez-Ferrer, B.; Rodríguez, A.; Narros, J.; Maira-Vidal, A. CSIC; Álvarez, J.; Nakbi, A.; Zucchiatti, A.; Aragón, F. de; García, J. M.; Vila, R. | artículo |
openAccess | | 7-feb-2013 | Método de nanoestructuración de láminas ultra-finas de un óxido dieléctrico de alta permitividad | Tejedor, Paloma CSIC ORCID; Benedicto, Marcos CSIC; Galiana, Beatriz CSIC ORCID | patente |
openAccess | | 2013 | Modified energetics and growth kinetics on H-terminated GaAs (110) | Galiana, Beatriz CSIC ORCID; Benedicto, Marcos CSIC; Díez-Merino, Laura; Lorbek, S.; Hlawacek, G.; Teichert, Christian; Tejedor, Paloma CSIC ORCID | artículo |
closedAccess | | 3-sep-2014 | Nucleation kinetics of SrTiO3 3D islands and nanorings on Si substrates | Tejedor, Paloma CSIC ORCID; Benedicto, Marcos CSIC; Vázquez, Luis CSIC ORCID ; Galiana, Beatriz CSIC ORCID | artículo |
openAccess | | 2019 | Selective area growth of InxGa1-xAs nanowires on HfO2 templates for highly scaled nMOS devices | Tejedor, Paloma CSIC ORCID; Benedicto, Marcos CSIC | artículo |
openAccess | | 2013 | Step-step interactions on GaAs (110) nanopatterns | Galiana, Beatriz CSIC ORCID; Benedicto, Marcos CSIC; Tejedor, Paloma CSIC ORCID | artículo |