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closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1-Jun-1992A study of the undercutting characteristics in the TMAH:IPA systemMerlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz ; Bao, Min-Hang; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaumepóster de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg9-Apr-2001Actuation unit analysis of a thermo-pneumatic actuated micropumpCarmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josep; Acero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaumecomunicación de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg8-Feb-2017Advanced electrical characterization of atomic layer deposited Al2O3 MIS-based structuresGarcía, Héctor; Castán, H.; Dueñas, S.; González, M. B.; Acero Leal, María Cruz ; Campabadal, Francescacomunicación de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg2001An analytical model for passive microvalvesCarmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josep; Acero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaumeartículo
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1993Analysis of buried etch-stop layers in silicon by nitrogen-ion implantationAcero Leal, María Cruz ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Garrido, Blas; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.artículo
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg9-Jun-2014Analysis of the temperature dependence of the switching variability in Ni/HfO2-based RRAM devicesGonzález, M. B.; Rafí, J.M. CSIC ORCID; Beldarrain, O.; Zabala, Miguel; Acero Leal, María Cruz ; Campabadal, Francescacomunicación de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg26-Sep-1993Anisotropic etch-stop properties of nitrogen implanted siliconAcero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, J. R.póster de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgDec-1994Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted siliconAcero Leal, María Cruz ; Esteve i Tintó, Jaume; Montserrat, J.; Bausells, Joan CSIC ORCID ; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano-Rodríguez, Alberto; Morante, J. R.artículo
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpgJun-1995Application of nickel electroless plating to the fabrication of low-cost backside contact ISFETsMerlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Cané Ballart, Carles; Bausells, Joan CSIC ORCID artículo
openAccessAssessment of resistive switching characteristics on different.pdf.jpg11-Jun-2018Assessment of resistive switching characteristics on different HfO2/Al2O3 dielectric stacksMaestro, Marcos; Poblador, Samuel CSIC ORCID ; Zabala, Miguel; Acero Leal, María Cruz ; González, M. B.; Campabadal, Francescapóster de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg16-Jun-1998beta-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applicationsSerre, Christophe; Romano-Rodríguez, Alberto; Pérez Rodríguez, Alejandro; Morante, J. R.; Fonseca, Luis; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Acero Leal, María Cruz comunicación de congreso
openAccessBlistering of ALD.pdf.jpg28-Sep-2015Blistering of ALD Al2O3 films in Al-Al2O3-Si structuresCampabadal, Francesca; Acero Leal, María Cruz ; Beldarrain, O.; Duch, M.; Zabala, Miguel; González, M. B.póster de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg15-Jun-1992Carrier transport and storage in Si3N4 for metal-nitride-oxide-semiconductor memory applicationsMartín, Ferran; Aymerich, Xavier; Campabadal, Francesca; Acero Leal, María Cruz artículo
Comparison between Al2O3 thin films grown by ALD.pdf.jpg8-Feb-2011Comparison between Al2O3 thin films grown by ALD using H2O or O3 as oxidant sourceCampabadal, Francesca; Beldarrain, O.; Zabala, Miguel; Acero Leal, María Cruz ; Rafí, J.M. CSIC ORCIDcomunicación de congreso
openAccess2068740_B1.pdf.jpg16-Nov-1995Composiciones en solución para el ataque de obleas de silicio y método para el ataque con tales composicionesEsteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Brausells Roige, Joan; Bao, Min-Hangpatente
openAccess2152763_B1.pdf.jpg16-Aug-2001Cubeta tubular con sensores químicos de estado integrados para aplicación a sistemas de análisisEsteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Merlos Domingo, Ángel CSIC ORCID ; Martínez Fàbregas, Esteve; Alegret, Salvador; Díez-Caballero Arnau, Teófilo; Mendoza Plaza, Alejandro; Rodríguez Albalat, Guillermo; Espinós Martí, Enriquepatente
openAccessDedicated Random Telegraph Noise Characterization.pdf.jpg29-Jun-2015Dedicated Random Telegraph Noise Characterization of Ni/HfO2-based RRAM DevicesGonzález, M. B.; Martín-Martínez, Javier; Rodríguez, Rosana; Acero Leal, María Cruz ; Nafría, Montserrat; Campabadal, Francesca; Aymerich, Xaviercomunicación de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg21-Oct-1996Design of a modular micropump based on anodic bondingAcero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Joseppóster de congreso
closedAccessaccesoRestringido.pdf.jpg1997Design of a modular micropump based on anodic bondingAcero Leal, María Cruz ; Plaza, José Antonio CSIC ORCID ; Esteve i Tintó, Jaume; Carmona, M.; Marco, S.; Samitier, Josepartículo
openAccessWO2010146213A1.pdf.jpg23-Dec-2010device for generating electric power from small movementsEsteve i Tintó, Jaume; Acero Leal, María Cruz ; Fondevilla Sala, Nuria; Pérez Rodríguez, Alejandro; Serre, Christophesolicitud de patente