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http://hdl.handle.net/10261/94413COMPARTIR / EXPORTAR:
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| Título: | Procedimiento para depositar calcogenuros por co-evaporación física |
Autor: | Trigo-Escalera, Juan Francisco; Herrero-Rueda, José; Gutiérrez-García, María Teresa; Briones Fernández-Pola, Fernando CSIC | Fecha de publicación: | 17-sep-2013 | Citación: | ES2423082 A1 | Resumen: | La invención se refiere a un procedimiento de deposición de calcogenuros con control de la presión de gas mediante activación pulsada y continua de una válvula en la fuente de gas calcógeno. Gracias a la aplicación de estos pulsos se puede controlar la presión en la cámara de manera que la estequiometría es fácilmente controlable, mientras que se puede prescindir de válvulas complicadas. | URI: | http://hdl.handle.net/10261/94413 |
| Aparece en las colecciones: | (IMN-CNM) Patentes |
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