Method and system for characterization of nano and micromechanical structures

Abstract

[EN] Method and system in optical microscopy based on the deflection of micro- and nanomechanical structures, upon impact of a laser beam thereon, which simultaneously and automatically provides a spatial map of the static deflection and of the form of various vibration modes, with vertical resolution in the subangstrom range. The invention comprises at least one mechanical structure, an incident laser beam sweeping the surface of the structure, an optometric detector for capturing the laser beam, and frequency excitation means that generate at least two sinusoidal signals at different frequencies in the mechanical structure.

[ES] Método y sistema de microscopia óptica basada en la deflexión de estructuras micro y nano mecánicas al incidir un haz láser en ellas que provee simultáneamete y de manera automática de un mapa espacial de la deflexión estática y de la forma de diversos modos de vibración con resolución vertical en el rango de subangstrom. Comprendiendo al menos una estructura mecánica, un haz láser incidente que barre la superficie de la estructura, un detector optométrico para la captura del haz láser y unos medios de excitación en frecuencia que generan al menos dos señales sinusoidales a diferentes frecuencias en la estructura mecánica.