Procedimiento de integración monolítica de materiales de alta calidad mecánica con circuitos integrados para aplicaciones MEMS/NEMS

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Título:	Procedimiento de integración monolítica de materiales de alta calidad mecánica con circuitos integrados para aplicaciones MEMS/NEMS
Autor:	Barniol Beumala, Núria; Villarroya Gaudó, María; Abadal Berini, Gabriel; Verd Martorell, Jaume; Esteve i Tintó, Jaume; Figueras Costa, Eduard; Campabadal, Francesca CSIC ORCID
Fecha de publicación:	16-may-2008
Citación:	Publication nr.: ES 2299298 A1
Descripción:	Solicitud de patente (concesión en curso).-- Referencia OEPM: P200501833.-- Fecha de presentación: 21/07/2005.-- Solicitantes: Universitata Autònoma de Barcelona (UAB), Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC).
URI:	http://hdl.handle.net/10261/6582
Aparece en las colecciones:	(IMB-CNM) Patentes