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Title

Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcódigos de barras y de marcas en chips con láser

AuthorsLozano Fantoba, Manuel; Perelló García, Carles; Enrich Sard, Xavier; Santander Vallejo, Joaquín
KeywordsMicrocódigos de barras
Láser
Issue Date16-Mar-2005
CitationPublication nr.: ES 2195786 B1
AbstractEl objeto de esta invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación. Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip
DescriptionReferencia OEPM: P200201114 .-- Fecha de solicitud: 16/05/2002.-- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC).
URIhttp://hdl.handle.net/10261/5098
Appears in Collections:(IMB-CNM) Patentes
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