SU-8 Microneedles for monitoring and stimulating nuerons

Abstract

[ES] Microaguja de SU-8 para la monitorización y estimulación neuronal de espesor inferior a 100 micrómetros y largura desde 50 micras hasta los 10 centímetros, cuyo procedimiento de fabricación permite extraer la microaguja del sustrato sin utilizar medios mecánicos gracias al recubrimiento inicial de un sustrato rígido con una capa de aluminio, como capa sacrificial, y el ataque químico final de la capa de Aluminio para la extracción química de la microaguja obtenida en etapas intermedias conocidas de fabricación por fotolitografia.

[EN] The invention relates to an SU -8 microneedle for monitoring and stimulating neurons, having a thickness of less than 100 micrometres and a length of 50 micrometres to 10 centimetres, wherein the manufacturing method enables the microneedle to be removed from the substrate without using mechanical means due to the initial coating of a rigid substrate with a layer of aluminium as a sacrificial layer and the final chemical etching of the aluminium layer for chemicaIly removing the microneedle obtained in known intermediate photolithographic manufacturing steps.