Aumento de la sensibilidad de un sensor interferométrico MachZehnder integrado basado en estructuras ARROW

Abstract

El desarrollo de un sensor de campo evanescente con una configuración basada en el interferómetro de Mach-Zehnder (MZI) requiere la fabricación de guías ópticas con dos características principales: comportamiento monomodo y alta sensibilidad superficial para la detección de interacciones biomoleculares de un modo directo, sin el uso de marcadores. En este trabajo presentarnos, en primer lugar, 1m estudio experimental de la optimización de diferentes parámetros de la guía de ondas que conformará la base de un sensor óptico de alta sensibilidad. Después de la optimización de la estructura, se procedió a la fabricación de un dispositivo MZI;~ y posteriormente a su caracterización y aplicación concreta como sensor. Las guías de onda diseñadas se basan en la estructura ARROW (del inglés, guías ópticas de reflexión antirresonante) y se han fabricado con tecnología microelectrónica de silicio.