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Title

Self-aligned metal mask assembly for selectively depositing thin films on microelectronic substrates and devices, and method of use

Other TitlesConjunto de máscaras metálicas auto alineadas para depositar de modo selectivo, capas finas sobre dispositivos y substratos microelectrónicos y método de empleo
AuthorsJordà, Xavier; Perpina Giribet, Xavier; Vellvehi Hernández, Miquel; Sánchez Sánchez, David; Godignon, Philippe
Issue Date30-Jul-2009
CitationWO 2009092841 (A1)
AbstractThe invention in question relates to a self-aligned metal mask assembly for selectively depositing thin films on microelectronic substrates and devices, comprising the following parts: a) an upper metal mask with the orifices or zones that define the patterns to be metallized, said mask having centring holes, b) a lower metal mask with orifices of the same size and shape as the substrates or devices to be metallized, and further auxiliary holes for centring the assembly, c) a piece or base with rods corresponding to the auxiliary holes, for centring the above parts, an upper piece or frame for securing and keeping the complete assembly aligned by means of screws and slight pressure. The assembly can in turn be secured to the sample-holder of the deposition machine.
La invención en la cuestión relaciona a un conjunto auto-alineado de la máscara del metal para selectivamente depositar las películas delgadas en los sustratos y los dispositivos microelectrónicos, comprendiendo las partes de la continuación: a) una máscara del metal del superior con los orificios o las zonas que definen los patrones para ser metalizados, la máscara dicha que tenía agujeros del centraje, b) una máscara más baja del metal con los orificios de los mismos tamaños y forma que los sustratos o dispositivos ser metalizados, y para fomentar a agujeros auxiliares para el centraje el conjunto, c) una pieza o bases con las barras correspondientes a los agujeros auxiliares, para el centraje las partes antedichas, una pieza del superior o bastidor para asegurar y mantener al conjunto completo alinearon por medio de tornos y de ligera presión. El bote del conjunto alternadamente esté asegurado al muestra-soporte de la máquina de la deposición.
DescriptionFecha de solicitud: 30-07-2009.- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
URIhttp://hdl.handle.net/10261/27777
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