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Open Access item Microagujas de SU-8 para la monitorización y la estimulación neuronal

Authors:Fernández Ledesma, Luis José
Berganzo Ruiz, Javier
Tijero Serna, María
Altuna Letamendi, Ane
Menéndez de la Prida, Liset
Villa Sanz, Rosa
Issue Date:3-Feb-2010
Citation:ES 2332399 (A1)
Abstract:Microaguja de SU-8 para la monitorización y estimulación neuronal de espesor inferior a 100 micrómetros y largura desde 50 micras hasta los 10 centímetros, cuyo procedimiento de fabricación permite extraer la microaguja del sustrato sin utilizar medios mecánicos gracias al recubrimiento inicial de un sustrato rígido con una capa de aluminio, como capa sacrificial, y el ataque químico final de la capa de Aluminio para la extracción química de la microaguja obtenida en etapas intermedias conocidas de fabricación por fotolitografía.
Description:Fecha de solicitud: 03/02/2010.- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
URI:http://hdl.handle.net/10261/26400
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