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Microdosimeter based on 3d semiconductor structures, method for producing said microdosimeter, and use of said microdosimeter

Other TitlesMicrodosimetro basado en estructuras 3d de semiconductor, procedimiento de fabricación de dicho microdosimetro y uso de dicho microdosimetro
AuthorsGuardiola Salmerón, Consuelo; Pellegrini, Giulio; Lozano Fantoba, Manuel; Fleta, Celeste; Quirion, David; Gómez Rodríguez, Faustino
Issue Date6-Aug-2015
CitationWO2015114193 A1
Abstract[EN] The invention relates to a microdosimeter formed by cells forming an array, where each cell contains a radiation-sensitive volume formed over semiconductors by means of three-dimensional processes defined by the components of a p-n junction so as to ensure the accurate delimitation, to a very small number of μm, of a sensitive volume similar to the mean volume of the cell nucleus, of a diameter approximately equal to, or less than, 10 μm, where the substrate where the cell is produced is a semiconductor wafer and the cell has a diameter of between 5 and 150 μm and a depth of between 1 and 300 μm. The invention also relates to different methods for producing different configurations that said microdosimeters may present, and to the use thereof for detecting radiation in different fields including medical and aerospace applications.
[ES]La invención comprende un microdosímetro formado por celdas que forman una matriz, donde en el interior de cada celda hay un volumen sensible a la radiación, que se fabrica sobre semiconductores mediante procesos tridimensionales que definen los componentes de una unión PN para asegurar que se delimita con precisión de pocas μιη un volumen sensible similar al volumen medio del núcleo celular, de aproximadamente igual o menor a 10 μm de diámetro, donde el sustrato donde está fabricada la celda es una oblea de semiconductor y la celda tiene un diámetro de entre 5 y 150 μm y una profundidad de entre 1 y 300 μm.. Además la invención indica procedimientos de fabricación de diferentes configuraciones que pueden presentar estos microdosímetros, y su uso para detección de radiación en diferentes campos incluyendo aplicaciones médicas y aeroespaciales.
Appears in Collections:(IMB-CNM) Patentes
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