English   español  
Por favor, use este identificador para citar o enlazar a este item: http://hdl.handle.net/10261/122890
COMPARTIR / IMPACTO:
Estadísticas
logo share SHARE   Add this article to your Mendeley library MendeleyBASE
Visualizar otros formatos: MARC | Dublin Core | RDF | ORE | MODS | METS | DIDL
Exportar a otros formatos:

Título

Análisis con resolución nanométrica de recubrimientos ultra-delgados en substratos de silicio, utilizando descargas luminiscentes de radiofrecuencia pulsada con detección por espectrometría de masas de tiempo de vuelo

AutorBordel, N.; Pisonero, J.; Martín, José Ignacio ; Quirós, Carlos ; Hierro-Rodríguez, A. ; Sanz-Medel, A.
Palabras claveDescarga luminiscente
Espectrometría de masas de tiempo de vuelo
Capas delgadas
Resolución en profundidad
Fecha de publicación2010
EditorSociemat
CitaciónXI Congreso Nacional de Materiales (2010)
ResumenEn este trabajo se han preparado y analizado dos series de muestras formadas por un sustrato de Si sobre el que se han depositado bicapas Nb/Al en una de las series y Si/Co en la otra. La capa exterior en cada serie de muestras es de espesor fijo, 50 nm en el caso del Nb y 30 nm para el Si. La capa interna depositada sobre el sustrato tiene espesor variable desde 50 nm hasta 1 nm. Dichas muestras fueron analizadas mediante descarga luminiscente de radiofrecuencia pulsada con detección por espectrometría de masas de tiempo de vuelo para estudiar el potencial de esta técnica para el análisis de capas ultra-delgadas. Los resultados muestran que es posible analizar y resolver capas de espesores tan delgados como 1 nm. Los perfiles obtenidos por esta técnica se han comparado con los obtenidos mediante espectrometría de masas de iones secundarios.
DescripciónTrabajo presentado al XI Congreso Nacional de Materiales celebrado en Zaragoza del 23 al 25 de junio de 2010.-- et al.
URIhttp://hdl.handle.net/10261/122890
Aparece en las colecciones: (CINN) Comunicaciones congresos
Ficheros en este ítem:
Fichero Descripción Tamaño Formato  
tiempo de vuelo.pdf414,6 kBAdobe PDFVista previa
Visualizar/Abrir
Mostrar el registro completo
 


NOTA: Los ítems de Digital.CSIC están protegidos por copyright, con todos los derechos reservados, a menos que se indique lo contrario.