Growth of WxSiyOz thin films by reactive magnetron sputtering from a single heterogeneous target

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Campo DC	Valor	Lengua/Idioma
dc.contributor.author	Álvarez, Rafael	-
dc.contributor.author	Gil-Rostra, J.	-
dc.contributor.author	Cotrino, José	-
dc.contributor.author	González-Elipe, Agustín R.	-
dc.contributor.author	Palmero, Alberto	-
dc.date.accessioned	2014-08-22T09:50:24Z	-
dc.date.available	2014-08-22T09:50:24Z	-
dc.date.issued	2013-09	-
dc.identifier.citation	EuroMat 2013 – European Congress and Exhibition on Advanced Materials and Processes, Sevilla (España)	es_ES
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10261/101045	-
dc.description	Presentación en la conferencia “EuroMat 2013”	es_ES
dc.language.iso	eng	es_ES
dc.publisher	Sociedad Española de Materiales	es_ES
dc.rights	openAccess	es_ES
dc.title	Growth of WxSiyOz thin films by reactive magnetron sputtering from a single heterogeneous target	es_ES
dc.type	comunicación de congreso	es_ES
dc.description.peerreviewed	Peer reviewed	es_ES
dc.relation.csic	Sí	es_ES
dc.type.coar	http://purl.org/coar/resource_type/c_5794	es_ES
item.grantfulltext	open	-
item.cerifentitytype	Publications	-
item.openairecristype	http://purl.org/coar/resource_type/c_18cf	-
item.languageiso639-1	en	-
item.fulltext	With Fulltext	-
item.openairetype	comunicación de congreso	-
Aparece en las colecciones:	(ICMS) Comunicaciones congresos