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Título

Growth of WxSiyOz thin films by reactive magnetron sputtering from a single heterogeneous target

AutorÁlvarez, Rafael ; Gil-Rostra, J. ; Cotrino, José ; González-Elipe, Agustín R. ; Palmero, Alberto
Fecha de publicaciónsep-2013
EditorSociedad Española de Materiales
CitaciónEuroMat 2013 – European Congress and Exhibition on Advanced Materials and Processes, Sevilla (España)
DescripciónPresentación en la conferencia “EuroMat 2013”
URIhttp://hdl.handle.net/10261/101045
Aparece en las colecciones: (ICMS) Comunicaciones congresos
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